SEMICON Taiwan 2012「450mm供應鏈論壇」─

SEMICON Taiwan 2012「450mm供應鏈論壇」─

TSMC: 450mm晶圓2018量產  微影技術成關鍵

關鍵設備商TEL、Lam Research、應用材料、KLA-Tencor 揭示450mm技術進程

SEMICON Taiwan 2012於9月7日上午舉行「450mm供應鏈論壇」

由來自台積電、TEL、Lam Research、應用材料、KLA-Tencor等領先的晶圓代工

與設備廠商共同探討業界朝450mm移轉的最新發展趨勢以及所面臨的機會與挑戰。

與會專家均指出，要達到2018年450mm晶圓投入量產的目標，仍有許多技術挑戰有待克服

唯有透過產業鏈的共同合作與創新，這個願景才有可能實現。

台積電450mm計畫資深總監游秋山博士在以「450mm移轉的挑戰與機會」為題的專題演說中指出

隨著先進節點的複雜度不斷攀升，製程微縮帶來的成本效益將越來越低。

因此，業界開始展開450mm晶圓研發，期望藉由450mm帶來的更有效產能擴充、

更快速技術ramp up與製造週期時間，以及更高的土地與人員利用率等效益

為半導體產業創造更長期的發展契機。

然而，業界能否在2015年前成功開發能夠滿足10nm節點製程需求的微影技術

以實現2018年量產時程目標，是目前最大的挑戰

同時，如何取得合理的設備成本以帶來預期的成本效益、顯著提升生產力

以及開發完全自動化的無人晶圓廠操作、智慧型工具設備、綠色環保晶圓廠等議題

也都是業者需要解決的問題。

游秋山強調，業界過去推動300mm晶圓移轉時，曾成功完成許多的技術創新

他相信，針對450mm技術，未來將會有更多的創新技術會陸續出現。

台積電將充分發揮與全球450mm 推動聯盟 (Global 450 Consortium)合作的效益

並與半導體業者、設備製造商攜手，致力於推動業界成功朝450mm移轉。

全球450mm 推動聯盟General Manager林進祥博士介紹了聯盟的最新進展

並指出過去一年來，450mm技術開發已獲得了顯著進展，業者的參與程度亦日趨積極。

全球450mm 推動聯盟的目標是預計從今年起展開14奈米的技術展示，到2015~2016年進入10奈米試產。

目前，450mm晶圓的供應品質已大幅提升；同時，在製造設備方面

大部分設備到2014年都能完成試驗機台的開發，但最重要的微影技術

則預計要到2016年完成初步試驗機台，2018年完成量產機台開發。

同時，CNSE的無塵室預計2012年12月就緒，屆時將會是全球第一座450mm晶圓廠。

林進祥表示全球450mm 推動聯盟將與供應商以及SEMI持續合作

以推動450mm設備基礎架構、設備元件標準化、和後段處理、封測等作業的進展。

業者在共同分攤開發成本的同時，最終亦將能共享450mm帶來的效益。

在設備製造商方面，TEL副總裁暨企業行銷總經理関口章九博士、

Lam Research公司450mm計畫副總裁Mark Fissel、應用材料矽晶系統部門副總裁Kirk Hasserjian、

以及KLA-Tencor公司450mm計畫資深總監Hubert Altendorfer都提到了開發450mm設備面臨的挑戰。

関口章九認為，450mm世代將為會半導體產業帶來全新的變革與格局，隨著投資開發成本的高昂

只有具備堅強財務能力業者才有機會。然而，距離2018年的量產目標還有數年

這期間的風險與不確定性，使得客戶、設備供應商、晶圓廠和協會組織間的充分溝通、合作更顯重要。

半導體業者應從過去朝300mm移轉的經驗學習，以避免重複錯誤的發生。

Lam Research的Mark Fissel也以300mm移轉為例指出，從1995年試驗機台首度完成開發

由於歷經網路泡沫等經濟因素，一直到2004年

整個產業花了9年的時間，300mm晶圓出貨量才超過200mm。

對450mm設備開發來說，更是面臨了技術、處理能力、成本、尺寸等諸多相互關聯的設計議題與挑戰。

Mark Fissel認為，業者必須能在450mm開發風險與長期投資回報率間取得平衡。

應用材料矽晶系統部門副總裁Kirk Hasserjian則是提出了順利移轉至450mm世代的六個重要因素

分別是：業界同步的移轉時程、蝕刻技術成熟度、成本分攤、協同合作、創新、以及供應鏈的就緒。

<台積電電子束作業及 450mm 專案資深處長游秋山博士分享450mm製程的機會與挑戰>

  

<全球450mm 推動聯盟General Manager林進祥博士帶來聯盟最新進程>

關於SEMI

SEMI是全球化的產業協會，致力於促進微電子、平面顯示器及太陽能光電等產業供應鏈的整體發展。

會員涵括上述產業供應鏈中的製造、設備、材料與服務公司，是改善人類生活品質的核心驅動力。

SEMI的服務項目包括：專業展會規劃、產業標準建立、市場研究調查、會員服務、教育訓練課程等。

自1970年成立至今，SEMI不斷致力於協助會員公司快速取得市場資訊、提高獲利率、創造新市場、

克服技術挑戰，以及促進會員與其客戶、投資者、供應商、政府及全球產業精英的關係。

SEMI在全球13個重要微電子生產基地均設有辦公室，包括:新竹、上海、北京、東京、首爾、

新加坡、邦加羅爾、布魯塞爾、柏林、格勒諾布爾、莫斯科和聖荷西、華盛頓。

更多市場研究與展會訊息請參訪 www.semi.org

第二屆SiP Global Summit 「3D IC 技術趨勢論壇」

第二屆SiP Global Summit 「3D IC 技術趨勢論壇」盛大舉行

日月光、矽品、Xilinx、聯電等大廠齊聚一堂

共同探討3D IC供應鏈的完整性與成熟度

台灣新生報/記者夏秀珠報導/在業界的積極推動下，運用矽穿孔(TSV)的2.5D/3D IC技術

近年來已有顯著進展，正朝量產階段邁進。

今年Semicon Taiwan的3D IC 技術趨勢論壇中，集結了來自日月光、矽品、Xilinx、LSI、Aptina

聯電、EVG、Cadence、Teradyne、MicroTec等橫跨3D IC供應鏈上中下游的領導業者

共同探討整體基礎架構的成熟度以及邁向量產尚須克服的挑戰。

儘管目前3D IC技術在成本、標準、生態系統、業務模式各領域都還有問題尚待解決

但與會者均相信，在業者的合作努力下，未來二至三年內

3D IC市場終將正式進入量產，並逐步起飛。

日月光研發中心副總經理洪志斌博士表示，3D TSV元件佔整體半導體市場的比例將從2012年的1%

到2017年增加至9%，規模達38.4億美元，包括MEMS、LED、影像感測器、RF元件都是快速成長的領域。

他表示，過去一年來，雖然TSV製程、中間插件(interposor)、重新分配層(RDL)等技術都已有快速進展

但是測試問題還待克服。同時在2.5D插件供應方面

亦出現了晶圓代工、封測廠、結合兩者以及獨立供應商的不同業務模式。

顯然，在產業鏈朝成熟發展的過程中，還有許多的生態系統、

合作關係與競爭模式議題有待釐清，才會有更明朗化的進展。

同時，他也認為簡化供應鏈、通用標準都是未來的努力目標。

Xilinx資深副總裁湯立人介紹了該公司最新2.5D產品的發展。透過採用並列式(side-by-side)佈局

Xilinx已成功推出結合4顆28奈米FPGA的2.5D晶片，總電晶體數高達68億個。

與傳統方式相比，新元件可達到100倍的每瓦頻寬

同時，容量、頻寬、功率都比傳統單晶粒FPGA更佳，預計明年上半年就可進入量產。

同時，Xilinx也已投入3D異質整合晶片開發，湯立人表示，微凸塊/TSV、

熱傳、TSV元件應力等問題都有待解決。

此外，若要實現邏輯、記憶體、處理器等主動與主動晶粒間的堆疊

業界在3D製程開發套件、製造標準(材料、DFM規則)、測試、

代工廠間互通性、晶片間介面等各領域，都還有一段路要走。

LSI材料和互連技術院士John Osenbach博士則是討論了矽、

有機和玻璃等不同中間插件材料的差異與優缺點。

他認為，目前還沒有最適當的答案出現

未來業者有可能會依照不同應用與架構選用不同的材料。

Aptina先進封裝資深總監Derek Hinkle指出，影像感測器市場的3D封裝技術已經就緒

目前是採用via-last互連製程，已經開始在8吋晶圓生產，可最大化每片晶圓的晶粒數。

針對現有的Via-first、via-middle以及via-last製程，Derek Hinkle表示，這些技術各有其優點

但他認為，via-last能帶來更佳的供應鏈管理靈活性。同時，由於目前3D IC供應鏈仍然分散

有待進一步整合，並須能提供更具吸引力的成本、效能、尺寸優勢，才能進一步擴大3D IC的廣泛採用。

聯電企業行銷總監黃克勤博士介紹了聯電在3D IC方面的最新進展。它是以Via-middle製程為基礎

從今年初開始進行TSV製程最佳化，預計今年底進行產品級的封裝與測試以及可靠性評估。

他表示，雖然在開發初期曾遭遇銅填充、金屬堆疊等TSV完整性製程問題，但現在都已經克服。

他強調，運用現有的CMOS製程技術與代工、封測廠生態系統，將會是較佳的業務模式。

此外，EVG討論了wide I/O介面的薄化晶粒堆疊、

Teredyne介紹在自動化測試設備上進行系統級測試的技術與成本挑戰、

益華電腦說明矽插件協同設計與分析的新型工具。

儘管2.5D/3D IC已經從概念逐漸成為事實，但是，與會者均提到必須克服成本挑戰

讓此技術從高階、少量應用擴大到更廣泛的主流應用，才能確保業者的長期投資效益。

這個挑戰，將是3D IC技術邁向量產的關鍵，也是整體產業鏈共同努力的目標。

3D IC技術趨勢論壇與會嘉賓合影

(由左至右為Cadence研發副總裁方家元、日月光集團研發中心副總經理洪志斌、

日月光集團研發中心總經理唐和明、LSI 院士John Osenbach、Xilinx資深副總裁湯立人、

聯電行銷總監黃克勤、矽品副總經理馬光華、Tohoku-MicroTec 執行長  Makoto Motoyoshi、

Aptina LLC先進封裝資深總監 Derek Hinkle、工研院電光所所長詹益仁)

關於SEMI

SEMI是全球化的產業協會，致力於促進微電子、平面顯示器及太陽能光電等產業供應鏈的整體發展。

會員涵括上述產業供應鏈中的製造、設備、材料與服務公司，是改善人類生活品質的核心驅動力。

SEMI的服務項目包括：專業展會規劃、產業標準建立、市場研究調查、會員服務、教育訓練課程等。

自1970年成立至今，SEMI不斷致力於協助會員公司快速取得市場資訊、

提高獲利率、創造新市場、克服技術挑戰，以及促進會員與其客戶、投資者、

供應商、政府及全球產業精英的關係。

SEMI在全球13個重要微電子生產基地均設有辦公室

包括:新竹、上海、北京、東京、首爾、新加坡、邦加羅爾、布魯塞爾、

柏林、格勒諾布爾、莫斯科和聖荷西、華盛頓。

更多市場研究與展會訊息請參訪 www.semi.org

不用自造雲 台灣大+Evernote刮起個人雲經營新模式

台灣大個人行動智慧雲史無前例送好康

聯手Evernote送一年份專業版 預估200萬人搶用 

台灣新生報/記者夏秀珠報導/台灣大哥大個人雲端出史無前例的好康

今(30)日由營運總經理賴弦五與Evernote首席執行長Phil Libin菲爾利賓攜手宣佈合作

凡是台灣大哥大用戶，皆可免費獲得一年份、價值1,350元（USD$45元美金）Evernote專業版軟體

限時即日起~9/30開放搶領，逾時不候，預估將有超過200萬智慧型用戶受惠

在全球擁有超過3500萬用戶的Evernote也藉此正式開啟台灣市場。

台灣大哥大以本土電信業經營優勢，搭配國際殺手級個人雲服務，開啟個人行動智慧雲應用新模式

預估魚幫水、水幫魚策略，將為台灣電信商個人雲市場經營掀起新一波高潮。

 不用自造雲 台灣大+Evernote刮起個人雲經營新模式

Evernote目前全球共有3500萬用戶，支援全球22種語言，每天新增用戶約5~7萬戶。

2010年開始與全球頂尖電信商合作，在日本、.歐洲等地皆有許多成功經驗

如日本Docomo、法國Orange，台灣為其全球第三個獨家合作的電信商。

Evernote觀察全球用戶行為，發現亞洲人普遍有記筆記習慣，馬英九總統就是個例子！

目前台灣用戶數約佔全球2%，相較全球用戶比率來看相當高，因此被視為亞太區重要市場。

為提供最聰明的記憶救星，讓更多台灣民眾享受最強大的行動隨記隨取方式

此次首選與台灣大哥大獨家合作。

「雲端不必自己架梯，站在巨人的肩膀看得看高更遠！」

台灣大哥大營運總經理賴弦五表示，『此次與雲端小巨人Evernote合作，藉由台灣大哥大在地經營優勢

加上Evernote服務「傻瓜化」、「無限容量」等特徵

預料會在台灣掀起一股「人人可存取、處處能分享」的個人雲風潮。』

去年市場瘋團購，國際有Groupon 公開募股；今年是社群正夯的時刻

Facebook也於今年上市；諸如許多儲存概念的服務今年蓬勃發展

如Dropbox、Box、Amazon Cloud Drive、Microsoft SkyDrive、

Google Drive等，預估這些儲存類的”Killer Services”在2013年仍會快速成長。

Evernote首席執行長Phil Libin菲爾利賓表示

「台灣科技發達，人們樂於使用令生活更美好的嶄新科技

合作夥伴台灣大哥大擁有頂尖的行動基礎設備及大量願意嚐鮮的用戶

且台灣大哥大專注創造用戶美好經驗與服務品質的企業文化

與Evernote非常類似，期盼藉重台灣大哥大在地經營的know-how

獲得在地端的回饋，帶給用戶全新的價值。」

 「跨平台跨裝置」、「無限量」、「傻瓜化」、「優先影像辨識」等特色 人人皆上手

個人雲與一般雲不同，儲存的個人訊息往往包含大量圖片、影片

要求的儲存量大，因為使用者都非專業人士，不會處理複雜的資訊

所以對訊息運算力的要求不強，但對於使用介面人性化的要求非常高。

台灣大哥大表示，Evernote是款人人都能使用的個人雲端服務，一開放台灣大用戶領取專業版後

勢必會讓Evernote迅速從各式各樣個人雲服務中竄起，其特色：

特色	說明	舉例	專業版	免費版
跨平台 跨裝置	適用iOS、Android、Windows Phone 7、Blackberry等行動裝置，以及Mac OS X、Windows等電腦作業系統，與IE、Safari、Chrome、Firefox瀏覽器	上班族隨時記下客戶、老闆交代重要事項、拍下出差帳單，回到辦公室在電腦前開啟與手機同步的資料，就能一目瞭然方便整理	O	O
無限量	無限制的儲存空間，專業版每月上傳量可達1GB、單一記事最大容量可倍增到50MB	生活玩家可設置共享資料夾，紀錄旅行、享用美食的點點滴滴，方便與朋友分享生活美好	O	上傳量60MB/月、單一記事量25MB
傻瓜化	新記事用打字輸入、拍照、語音、附加檔案等形式紀錄，透過瀏覽器、桌面應用程式、平板電腦或智慧型手機 App 三種途徑，把資料紀錄並同步至雲端，即便手機遺失、電腦損毀，只要再安裝 Evernote，就可把資料從雲端同步回來	創意達人走到哪記到哪，任何靈光一現的idea都能留下紀錄，累積零碎時間的點子也能形成大創意	O	O
優先影像辨識	Evernote 認得圖片上的文字，可以依據圖片來查詢資料，可協助查詢存取的資料	商務人士用手機拍攝一張張名片，未來只要輸入公司名或姓名等名片關鍵字，就可輕鬆找到儲存的名片資料	O	X
離線擷取並編輯共用記事本	平時蒐集的資料，即使在沒有網路可用的時刻，仍可離線存取記事本；若將筆記本設為共用，共用名單中的人皆可進入筆記本讀取或編輯	背包客旅行前，旅遊夥伴各自上網找資料，放在共用資料夾，出國到了無法上網的地方，不用漫遊依然可打開離線筆記本，與夥伴討論好吃好玩的景點，再也不用帶厚厚旅遊書	O	無法使用離線記事本，即使共用記事本也只能讀取
PDF中搜尋	支援PDF中英文內容檢索，當在Evernote搜尋關鍵字，就可以同時查到PDF裡的文字。		O	X
隱藏 廣告	不受廣告干擾		O	X
PIN碼鎖定	可設定一組密碼，以免旁人拿到手機後讀取記事本內資料		O	X

 此外，Evernote是開放式雲端平台，全系列產品還有許多幫助隨存隨取的延伸應用程式：

l   人脈管理最佳利器的「Evernote Hello」可用手機拍下朋友頭像、名片或合照

      並紀錄碰面的印象或對這個人的觀察心得，頗獲商務人士好評。

l   「Evernote Clearly」及「Evernote Web Clipper」去蕪存菁擷取網頁資料非常方便，是蒐集資料的好幫手。

l   深受美食部落客喜愛的「Evernote Food」在拍照的同時，還會紀錄該餐廳所在位置

     用完餐後可以再從 Evernote 加上評比即可。

l   「Evernote Peek」是專為iPad推出的延伸應用，是款「自我學習工具」

      它可以把筆記本內的記事變成「問答測驗題」，透過iPad 上專用的Smart Cover掀蓋來完成考試。

l   「Penultimate」與「Skitch」是可使用手寫紀錄的應用程式，可滿足喜愛速記手感的用戶。

 多樣Evernote延伸應用程式讓用戶可記錄更多文字、圖片、影像等資訊

未來台灣大哥大會持續觀察台灣使用者的行為模式，針對不同需求

也推出自有開發的Evernote相關外掛程式。

幫助用戶不論在家、餐廳或捷運上，甚至離線使用，都可以更容易擷取資料

更多專業版詳細資訊可參考http://evernote.com/premium/。

 建造台灣大哥大雲端服務生態系

不論個人雲或企業雲，台灣大表示雲端計劃正在全速前進。

企業雲主攻智慧生活、交通物流、數位內容及智慧企業4大領域

日前上樑的內湖雲端綠機房除了得到Tier III國際認證，預計將於今年底正式運轉。

在個人雲的規劃上，2010年推出個人資料庫整合服務

如myMusic線上音樂平台、myBook書城、myPhoto大相簿等

讓用戶可以跨平台、跨裝置使用，而容量無上限的「電話簿備份」

提供用戶備份電話簿、行事曆、簡訊等資料，目前跨平台體驗人數已超過百萬人。

 今年台灣大再出新招，與競業自造雲不同，選擇與國際軟體服務商Evernote合作

透過已歷經多國成功經驗而架構的成熟介面，以及服務簡單易用的特性

快速為台灣大哥大用戶造出人人可上手的個人行動智慧雲。

 預估200萬用戶受惠

台灣大哥大與Evernote合作

8/30-9/30開放所有行動上網用戶可免費領取價值1,350元（USD$45元）的專業版一年份

預估將有超過200萬智慧型手機用戶搶領體驗。

非台灣大哥大用戶或錯過上市首月免費領取的民眾也不用擔心

10/1起成為台灣大哥大用戶，且使用行動上網250（含）以上資費的新、舊用戶

或是台灣大哥大VIP，都能免費領取Evernote專業版一年份（期限自領取日起計算一年）。

 為讓民眾對Evernote更快上手

台灣大哥大myBook書城獨家推出各連鎖書店工具類排行榜熱銷的

《Evernote超效率數位筆記術》電子書，每本175元

只要購買電子書即可獲贈Evernote專業版1個月，限量1000組，加碼優惠僅到11/30止。

附件一：領取Evernote專業版流程

電腦：請連上台灣大哥大官網http://www.taiwanmobile.com，進入活動網頁領取。

智慧型手機或平板電腦：請連上活動網站http://m.matchapps.net/evernote領取。

功能	專業版 (8/30-9/30台灣大用戶限時搶領)	免費版
記事上傳量	無限制，上傳量1GB/月	無限制，上傳量60MB/月
在PDF中搜尋	O	X
存取記事歷程紀錄	O	X
離線記事本	O	X
共用記事本	可讀取並編輯	唯讀
單一記事最大容量	50MB	25MB
優先影像辨識	O	X
隱藏廣告	O	X
PIN鎖定	O	X
Mail自動轉記事	250封/天	50封/天
費用	USD$5元/月；USD$45元/年	免費

 附件二：關於Evernote

Evernote協助人們記住生活大小事，藉由其相關創新產品與服務

讓使用者能夠捕捉、搜尋並管理自己的記憶。

Evernote 應用程式適用於所有主要的電腦、瀏覽器、行動裝置與平板電腦。

欲瞭解更多詳細資訊，請瀏覽：http://evernote.com/intl/zh-tw/。

 Evernote 是一間獨立的私人持股公司，總部設於加州的紅木城 (Redwood City)。

主要投資者包括 Meritech Capital、CBC Capital、Sequoia Capital、

Morgenthaler Ventures 和 DOCOMO Capital。